因此,对激光混合气组分的纯度有着特殊要求,包装混合气的钢瓶,充装前也必须进行干燥处理,防止污染混合气。如果将氦(He)-氖(Ne)激光作为首代气体激光,激光混合气,激光是*二代气体激光,在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(KrF)激光,激光混合气化学性质,可称为*三代激光。
典型示例:激光混合气
激光混合气
组分与浓度范围
H2
CO
CO2
N2
He
0.3%
3%
6.5%
13%
77.2%
采用40升钢瓶,充装压力10MPa
气体激光器的激励方式很多,通常采用气体放电激励,此外还可采用电子束激励、气动式激励、化学激励、光激励和核动激励等。气体激光器与液体激光器、固体激光器和半导体激光器一样,泰兴激光混合气,已经实现了实用化。它已广泛用于工农业生产、科学研究、*建设和医疗卫生等领域。气体激光器的重要特点之一,激光工作物质是混合气或单一纯气体。由于激光混合气中组分气的纯度直接影响激光的性能,激光混合气装,特别是气体中氧、水、碳化合物等杂质的存在,将导致激光输出功率在镜(面)和电极上的耗损,还会引起激光发射的不稳定。